FLT -25℃~-40℃
Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.- Precisione della temperatura±0.1℃
- Controllo del flusso25~75/min 6bar max
- RefrigentR404A
- Gamma di potenza380V 3kW~17kW
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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.
Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.
Dettagli sulla configurazione
Modello |
FLT-202 FLT-202W |
FLT-203 FLT-203W |
FLT-204 FLT-204W |
FLT-206 FLT-206W |
FLT-208 FLT-208W |
FLT-210 FLT-210W |
FLT-215 FLT-215W |
Intervallo di temperatura |
-25℃~40℃ |
||||||
Precisione del controllo della temperatura |
±0.1℃ |
||||||
Controllo del flusso |
10~25L/min ±0,3 |
15~45L/min ±0,3 |
25~75L/min ±0,3 |
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Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar. |
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Refrigerazione @-15℃ |
2kw |
3kw |
3,8kw |
6kw |
7,6kw |
10kw |
15kw |
Circolazione interna Volume del fluido |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
Volume del vaso di espansione |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
refrigerante |
R404A |
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Refrigerante secondario |
Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc. |
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Interfaccia di ingresso e di uscita |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
Collegamento all'acqua di raffreddamento |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃ |
1,2 m³/H |
1,6 m³/H |
2,6 m³/H |
3,6 m³/H |
5,5 m³/H |
7m³/H |
10,2 m³/H |
Potenza 380V |
3KW |
4KW |
6KW |
8KW |
9KW |
13KW |
17KW |
Espansione della temperatura |
Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃. |
Descrizione del prodotto
Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.
Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.
refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Applicazioni
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