FLT 5℃~-40℃
Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.- Precisione della temperatura±0.1℃
- Controllo del flusso25~75/min 6bar max
- RefrigentR404A
- Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW
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Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.
Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.
Processo di candidatura
1.Silicon wafer manufacturing 2.Deposition 3.Photolithography 4.ion implantation
5.Wafer cleaning 6.Electroplating 7.Packaging testing
Dettagli sulla configurazione
Modello |
FLT-002 FLT-002W |
FLT-003 FLT-003W |
FLT-004 FLT-004W |
FLT-006 FLT-006W |
FLT-008 FLT-008W |
FLT-010 FLT-010W |
FLT-015 FLT-015W |
Controllo della temperatura |
5℃~40℃ |
||||||
Precisione della temperatura |
±0.1℃ |
||||||
Controllo del flusso |
10~25L/min 5bar max |
15~45L/min 6bar max |
25~75L/min 6bar max |
||||
Capacità di refrigerazione@10℃ |
6kw |
8kw |
10kw |
15 kw |
20kw |
25kw |
40kw |
Volume del liquido di circolazione interno |
4L |
5L |
6L |
8L |
10L |
12L |
20L |
Capacità del vaso di espansione |
10L |
10L |
15L |
15L |
20L |
25L |
35L |
Refrigerante |
R410A |
||||||
Refrigerante secondario |
Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃). |
||||||
Interfacce di ingresso e di uscita |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G3/4 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
Uscita acqua di raffreddamento |
G1/2 |
G1/2 |
G3/4 |
G1 |
G1 |
G1 |
G1 1/8 |
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃ |
1,5 m³/h |
2m³/h |
2,5 m³/h |
4m³/h |
4,5 m³/h |
5,6 m³/h |
9m³/h |
alimentazione 380V |
3,5kW |
4kW |
5,5kW |
7kW |
9,5kW |
12kW |
16kW |
Estensione della temperatura |
Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃. |
Descrizione del prodotto
Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.
Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.
Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.
Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.
Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.
refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Heating function
Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.
Communication function
Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.
client output signal
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