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ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor

Refrigeratore a scambio termico serie ETCU senza compressore

APPLICAZIONI

Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.

Caratteristiche del prodotto

 

Modello ETCU-005W ETCU-015W ETCU-030W ETCU-050W ETCU-100W ETCU-200W ETCU-300W
Intervallo di temperatura Cooling water temperature +5℃~90℃
Precisione del controllo della temperatura ±0,05℃(Temperatura di uscita a stato stazionario)
Temperatura dell'acqua di raffreddamento 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves
Capacità di raffreddamento 5kW 15kW 30kW 50kW 100kW 200kW 300kW
Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between
the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃
Pompa di circolazione 7~20L/min 5bar 15~40L/min 5bar 20~60L/min 5bar 40~110L/min 5bar 150~250L/min 5bar 250~500L/min 5bar 400~650L/min 5bar
Volume del serbatoio 5L 10L 20L 30L 60L 120L 240L
Dimensioni mm 480*750*390 480*750*390 480*750*500 Customization Customization Customization Customization

APPLICAZIONI

Unità di controllo della temperatura del processo FAB dei semiconduttori

La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e molte fasi del processo sono molto sensibili alla temperatura.
Il controllo preciso della temperatura può garantire uno spessore uniforme e una composizione accurata dei film depositati, migliorando così le prestazioni e la resa dei chip.

per il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori

Il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori è un anello fondamentale del processo di produzione dei semiconduttori, che comprende il collaudo dei wafer, il confezionamento dei chip e il collaudo post-confezionamento. Questo processo richiede non solo alta precisione e affidabilità, ma anche un rigoroso controllo della temperatura per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto.

Come i refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione delle apparecchiature Fab.

Raffreddamento dei sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia dei semiconduttori.

Refrigeratore a ricircolo per il sistema AOI di misurazione dei semiconduttori.

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Utilizzato per incisione e deposizione di smussi al plasma; incisione termica di strati atomici di tungsteno metallico.

La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione

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