Precauzioni per l'utilizzo del sistema di controllo della temperatura di prova dei wafer
Il sistema di controllo della temperatura di prova dei wafer può fornire ambienti ad alta e bassa temperatura per uso sperimentale. Tuttavia, essendo uno strumento, il suo funzionamento deve seguire alcune precauzioni. Questo articolo presenterà in dettaglio le precauzioni operative del sistema di controllo della temperatura dei wafer per garantire l'accuratezza e la sicurezza dell'esperimento.
Il sistema di controllo della temperatura di prova dei wafer è costituito principalmente da un sistema di refrigerazione, un sistema di riscaldamento, un sistema di controllo e un sensore di temperatura. Può ottenere un controllo accurato degli ambienti ad alta e bassa temperatura regolando i parametri del sistema di riscaldamento e del sistema di refrigerazione.
FLT-100℃~90℃
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
FLTZ -45℃~90℃
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Prima di utilizzare il wafer per testare il sistema di controllo della temperatura, è necessario effettuare una serie di controlli. Verificare se il collegamento di alimentazione del dispositivo è normale e se la spina di alimentazione è ben salda. In secondo luogo, è necessario verificare se le connessioni delle tubazioni dell'apparecchiatura sono strette e se ci sono perdite. Inoltre, è necessario controllare la pulizia interna dell'apparecchiatura per garantire l'accuratezza dei risultati sperimentali.
Quando si utilizza il sistema di controllo della temperatura dei wafer, è necessario prestare attenzione ai seguenti suggerimenti. Evitare di muovere o inclinare l'apparecchiatura mentre è in funzione per evitare inutili lesioni. In secondo luogo, assicurarsi che i campioni sperimentali siano posizionati in modo sicuro e che non siano collocati sul bordo o sulle parti scorrevoli dell'apparecchiatura per evitare di cadere e danneggiare l'apparecchiatura o causare lesioni personali.
Quando si imposta la temperatura, regolarla gradualmente e prestare sempre attenzione alla differenza tra la temperatura visualizzata dal dispositivo e la temperatura impostata. Se la differenza è troppo grande, è necessario regolare per tempo i parametri del sistema di riscaldamento e del sistema di refrigerazione. Allo stesso tempo, è necessario mantenere l'apparecchiatura pulita e pulire regolarmente il condensatore, l'evaporatore e altri componenti per garantire la dissipazione del calore e l'effetto di raffreddamento dell'apparecchiatura.
L'uso prolungato del sistema di controllo della temperatura dei wafer può provocare un deterioramento delle prestazioni o un guasto dell'apparecchiatura. Pertanto, è necessario ispezionare e mantenere regolarmente l'apparecchiatura per individuare e risolvere i problemi in modo tempestivo. Allo stesso tempo, il filtro, l'olio e gli altri accessori dell'apparecchiatura devono essere sostituiti regolarmente secondo le istruzioni dell'apparecchiatura per garantire il normale funzionamento dell'apparecchiatura.
In breve, il funzionamento del sistema di controllo della temperatura dei wafer richiede l'attenzione a molti aspetti. Durante l'uso, è necessario attenersi rigorosamente alle procedure operative dell'apparecchiatura e prestare sempre attenzione allo stato di funzionamento dell'apparecchiatura e alle variazioni dei risultati sperimentali. Allo stesso tempo, è necessario prestare attenzione ai suggerimenti e alle precauzioni di manutenzione delle apparecchiature per garantire l'accuratezza e la sicurezza dell'esperimento.
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