Refrigeratori industriali LNEYA Produttore Fornitore
Heat Exchange Chiller (Semiconductor temperature control )
ETCU 5℃~90℃
Temp Range: +5℃~90℃ ±0.3℃
Cooling Capacity: 5kw~30kw
Tank volume: 6L~15L
Power: 06KW~1.6KW
Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori
Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.
Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.
Dettagli sulla configurazione
| Modello | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Intervallo di temperatura | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Precisione del controllo della temperatura | ±0.05℃ (outlet temperature steady state) | ||||||
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 7℃~30℃ Utilizzare la valvola di regolazione Siemens/Honeywell per controllare il flusso dell'acqua di raffreddamento | ||||||
| Capacità di raffreddamento | 5kw | 15kw | 30kw | 50kw | 100kw | 200kw | 300kw |
| Circulating pump flow | Test conditions: At maximum circulation, the temperature difference between the control temperature and the cooling water temperature is 15°C | ||||||
| Storage tank volume | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Dimensioni | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Dimensioni | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Descrizione del prodotto
Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.
Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.
L'applicazione principale è il controllo accurato della temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori e nel processo di test.
Il metodo di riscaldamento è entro i 40°C e utilizza il gas caldo del compressore per riscaldare il concentrato.
Il sistema di circolazione adotta un design completamente sigillato e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.
Test dell'ammoniaca e test di sicurezza per garantire la sicurezza, l'affidabilità e la prosperità del sistema;
Dopo 24 ore di funzionamento continuo della copiatrice
Scenari applicativi del controllo della temperatura nel processo dei semiconduttori
refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab
Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.
Applicazioni
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