Conventional type FLT -45℃~80℃

Utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e collaudo dei semiconduttori, riscaldando entro i 40°C con il metodo di riscaldamento a gas caldo del compressore.

Refrigeratore di raffreddamento

Precisione della temperatura±0.1℃
Controllo del flusso25~75/min 6bar max
RefrigentR404A
Gamma di potenza380V 3,5kW~16kW

refrigeratore di raffreddamento refrigeratore per semiconduttori

RICHIESTA

Download dei dati del prodotto

manuale.pdf

Controllo della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta un compressore per il riscaldamento a gas caldo completamente chiuso e la macchina funziona ininterrottamente per 24 ore.

Garantire la stabilità e l'affidabilità del flusso complessivo del processo dei semiconduttori, dal front-end al back-end.

Processo di candidatura

1.Silicon wafer manufacturing 2.Deposition 3.Photolithography 4.ion implantation

5.Wafer cleaning 6.Electroplating 7.Packaging testing

Dettagli sulla configurazione

Modello	FLT-002 FLT-002W	FLT-003 FLT-003W	FLT-004 FLT-004W	FLT-006 FLT-006W	FLT-008 FLT-008W	FLT-010 FLT-010W	FLT-015 FLT-015W
Controllo della temperatura	5℃～40℃
Precisione della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Capacità di refrigerazione@10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
Volume del liquido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Capacità del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R410A
Refrigerante secondario	Olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, DI, ecc. (la temperatura di DI deve essere controllata al di sopra di 10 ℃).
Interfacce di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Uscita acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Portata dell'acqua di raffreddamento@20℃	1,5 m³/h	2m³/h	2,5 m³/h	4m³/h	4,5 m³/h	5,6 m³/h	9m³/h
alimentazione 380V	3,5kW	4kW	5,5kW	7kW	9,5kW	12kW	16kW
Estensione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, è possibile ampliare l'intervallo di temperatura da -25 ℃ a 80 ℃.

Modello	FLT-202 FLT-202W	FLT-203 FLT-203W	FLT-204 FLT-204W	FLT-206 FLT-206W	FLT-208 FLT-208W	FLT-210 FLT-210W	FLT-215 FLT-215W
Intervallo di temperatura	-25℃～40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min ±0,3		15～45L/min ±0,3			25～75L/min ±0,3
Controllo del flusso	Il controllo del flusso è regolato da un convertitore di frequenza e la pressione massima della pompa di circolazione è di 5 bar.
Refrigerazione @-15℃	2kw	3kw	3,8kw	6kw	7,6kw	10kw	15kw
Circolazione interna Volume del fluido	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
Collegamento all'acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Flusso d'acqua di raffreddamento@20℃	1,2 m³/H	1,6 m³/H	2,6 m³/H	3,6 m³/H	5,5 m³/H	7m³/H	10,2 m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Modello	FLT-402 FLT-402W	FLT-403 FLT-403W	FLT-404 FLT-404W	FLT-406 FLT-406W	FLT-408 FLT-408W	FLT-410 FLT-410W	FLT-415 FLT-415W
Controllo della temperatura	-45℃～40℃
Precisione del controllo della temperatura	±0.05℃
Controllo del flusso	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
Riscaldamento	Il riscaldamento del compressore viene utilizzato per prevenire la tecnologia di congelamento del condensatore.
Capacità di refrigerazione @-35℃	1kw	1,4kw	1,8kw	2,5kw	3,3kw	5kw	8kw
Volume del fluido di circolazione interno	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Volume del vaso di espansione	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerante	R404A
Refrigerante secondario	Acqua, olio di silicone, liquido fluorurato, soluzione acquosa di glicole etilenico, ecc.
Interfaccia di ingresso e di uscita	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
Collegamento all'acqua di raffreddamento	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
Flusso di acqua di raffreddamento @20℃	1,5m³/H	2,4 m³/H	3,5 m³/H	5m³/H	5,5 m³/H	6m³/H	8m³/H
Potenza 380V	3KW	4KW	6KW	7,5KW	9KW	12KW	15KW
Espansione della temperatura	Aggiungendo un riscaldatore elettrico, la temperatura può essere estesa a -25℃~80℃.

Descrizione del prodotto

Il dispositivo di controllo della temperatura dei semiconduttori Chiller è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nei processi di produzione e test dei semiconduttori. I suoi prodotti comprendono il controllo della temperatura del liquido fluorurato (minimo -100 gradi), il cambio rapido di temperatura del gas di raffreddamento e riscaldamento, il mandrino a cambio rapido di temperatura, la macchina di refrigerazione del gas a bassa temperatura (-120 gradi), l'unità di refrigerazione a raffreddamento diretto (-150 gradi), ecc. L'azienda applica vari algoritmi (PID, PID feedforward e algoritmo ad albero autocostruito model free) nel sistema per ottenere una risposta rapida e un'elevata precisione di controllo.

Informazioni importanti come la temperatura (pressione) di scarico e di aspirazione, la temperatura di condensazione, la temperatura (pressione) dell'acqua di raffreddamento, la temperatura (pressione) del liquido (gas) in ingresso e in uscita, la potenza elettrica, la corrente e la tensione di ciascun componente e il livello del serbatoio dell'acqua del refrigeratore sono tutti gestiti, monitorati e registrati in modo completo attraverso sensori collegati al sistema di controllo.

Il metodo di riscaldamento entro 40 ℃ adotta il riscaldamento a gas caldo del compressore.

Il sistema di circolazione del refrigeratore adotta un design completamente chiuso e la pompa di circolazione adotta una pompa a trascinamento magnetico.

Test all'elio del refrigeratore 100%, test delle norme di sicurezza 100% per garantire la sicurezza e l'affidabilità del sistema.

Il refrigeratore fa funzionare la fotocopiatrice ininterrottamente per 24 ore a 100%.

refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione sulle apparecchiature Fab

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Heating function

Due to the use of heat generated during heating, circulating heating can be achieved without the need for a heater.

Communication function

Standard equipment includes serial communication (RS232C, RS485) and contact input/output. Can communicate with customer devices or build systems.

client output signal

REQUEST A QUOTE

Inviaci un messaggio sui refrigeratori della serie FLT

consigliare i prodotti

MD -75℃～225℃
Quick temperature change control chuckConfiguration DetailsProduct DescriptionProvide 7 * 24 free consultation and comprehensive solutions -75℃ to 225°C Model MD-708 MD-712 MDL-708 Temp. Range -75℃～225℃ -75℃～225℃ -75℃～225℃ T…
YQH 0℃~-75℃
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
FLT-100℃~80℃ a bassa temperatura in cascata
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 12~45/min
FLTZ -30℃~40℃ Serie a doppia conversione di frequenza
Precisione della temperatura ±0.1℃ Controllo del flusso 15~45/min 6bar max Gamma di potenza 380V 3,5kW