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Unità di refrigerazione a circolazione d'aria serie AI

Unità di refrigerazione a circolazione d'aria della serie AI

APPLICAZIONI

Applicato ai test ad alta e bassa temperatura delle apparecchiature a semiconduttori. Apparecchiature elettroniche ad alta e bassa temperatura, sorgente di calore e freddo costante; unità di ventilazione a ciclo di refrigerazione indipendente, in grado di lavorare ininterrottamente per lungo tempo, sbrinamento automatico e processo di sbrinamento che non influisce sulla temperatura di conservazione.

AI -105℃~+125℃

 

Modello AI-6535
AI-6535W
AI-8035W AI-1055W
Intervallo di temperatura -65℃~+125℃ -80℃~+125℃ -105℃~+125℃
Modalità di controllo Controllore adattativo PID
Protocollo di comunicazione Protocollo MODBUS RTU, interfaccia RS 485
Feedback sulla temperatura PT100
Pannello operativo Schermo tattile da 7 pollici, visualizzazione della curva di temperatura/uscita della data EXCEL
Precisione della temperatura ±0,05℃(Temperatura di uscita a stato stazionario)
Potenza di riscaldamento 3,5KW 3,5kW 3,5kW
Raffreddamento
capacità
125℃ 3,5KW 3,5kW 3,5kW
50℃ 3,5kW 3,5kW 3,5kW
20℃ 3,5kW 3,5kw 3,5kw
0℃ 3,5kW 3,5kw 3,5kw
-20℃ 3kW 3,5kW 3,5kW
-40℃ 2,1KW 2,5kW 3,5kW
-60℃ 1KW 2,1kw 3kw
-75℃ 1kw 2kw
-95 1KW
Flusso d'aria in circolazione 550m³/h
Intercapedine di ingresso e di uscita DN125
Compressore Compressore flessibile scroll Emerson Copeland
Protezione di sicurezza Funzione di autodiagnosi; protezione della sequenza di fase. protezione da sovraccarico del congelatore; pressostato di alta pressione.
relè di sovraccarico. dispositivo di protezione termica.
Dispositivo di sbrinamento All'interno sono installati il dispositivo di sbrinamento e lo scarico della condensa.
Funzionamento continuo Funzionamento continuo
Funzionamento a tempo Possibilità di impostare un orario di avvio e di arresto temporizzato
Refrigerante R404A R23 R404A R508B R404A R23 R14
Raffreddato ad acqua 1200L/H 1,5bar~4bar 1600L/H 1,5bar~4bar 2600L/H 1,5bar~4bar
Dimensioni cm 55*100*175 55*100*175 70*100*175
Peso 280 kg 300 kg 360 kg
Materiale della scocca Lamiera laminata a freddo rivestimento a spruzzo REL 7035

 

 

1. Ampiamente utilizzato nei test ad alta e bassa temperatura delle apparecchiature a semiconduttore. Fonte di calore e di freddo delle apparecchiature elettroniche ad alta e bassa temperatura;

2. Unità di circolazione dell'aria a refrigerazione indipendente;

3. Può lavorare ininterrottamente per lungo tempo, con sbrinamento automatico, il processo di sbrinamento non influisce sulla temperatura di conservazione;

4. Design modulare, facile sostituzione della macchina di riserva (se ci sono 10 macchine, basta un'unità di riserva);

5. Risolve i problemi di apertura e chiusura frequente delle porte e di sbrinamento del sistema di evaporazione; il processo di sbrinamento del sistema di evaporazione non influisce.

6. Costruire una serie di serre ad alta e bassa temperatura e a temperatura costante (secondo i disegni forniti, la scatola può essere unita come blocchi di costruzione per collegare l'elettricità e l'acqua e impostare la temperatura per funzionare).

 

 

La pompa a frequenza variabile può regolare la pressione e la portata idraulica in circolazione

Funzione di comunicazione

APPLICAZIONI

Unità di controllo della temperatura del processo FAB dei semiconduttori

La produzione di semiconduttori è un processo con requisiti ambientali estremamente elevati e molte fasi del processo sono molto sensibili alla temperatura.
Il controllo preciso della temperatura può garantire uno spessore uniforme e una composizione accurata dei film depositati, migliorando così le prestazioni e la resa dei chip.

per il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori

Il processo di confezionamento e collaudo dei semiconduttori è un anello fondamentale del processo di produzione dei semiconduttori, che comprende il collaudo dei wafer, il confezionamento dei chip e il collaudo post-confezionamento. Questo processo richiede non solo alta precisione e affidabilità, ma anche un rigoroso controllo della temperatura per garantire la qualità e le prestazioni del prodotto.

Come i refrigeratori che controllano la temperatura di lavorazione delle apparecchiature Fab.

Raffreddamento dei sensori CMOS/CCD nei sistemi di metrologia dei semiconduttori.

Refrigeratore a ricircolo per il sistema AOI di misurazione dei semiconduttori.

Raffreddatore a canale singolo raffreddato ad aria, progettato principalmente per le macchine di incisione. Viene utilizzato per fornire un controllo indipendente della temperatura delle pareti laterali della camera.

Utilizzato per incisione e deposizione di smussi al plasma; incisione termica di strati atomici di tungsteno metallico.


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